EBARA ESA25-D真空泵維修:
ESA系列是新研發(fā)的獨(dú)特干式真空泵,具有優(yōu)越的高速排氣性能,從而適應(yīng)了LCD濺射制膜裝置,真空干燥制程,大型
L/L等工藝要求。并擁有高附加價(jià)值,對(duì)應(yīng)氣體負(fù)荷自動(dòng)控制轉(zhuǎn)速,高通信功能等。 ● *適用于大型真空反應(yīng)室的高速排氣 ● 具有高性能通信機(jī)能 ● 轉(zhuǎn)速自動(dòng)調(diào)節(jié)功能 ● 采用高度控制泵運(yùn)轉(zhuǎn)方式 ● 采用大口徑轉(zhuǎn)子,設(shè)計(jì)上上乘小型 ● 不產(chǎn)生真空泵大型化所引起的搬運(yùn)性能降低 ● 也可用于有機(jī)溶劑排氣上用的特別規(guī)格
蘇公網(wǎng)安備 32058302001661號(hào)